เครื่องถ่ายเอกสาร (อังกฤษ: xerography) เป็นขบวนการที่ใช้ในเครื่องถ่ายเอกสาร คิดค้นโดยนักฟิสิกส์ชื่อ เชสเตอร์ คาร์ลสัน ในปี พ.ศ. 2481 และได้จดสิทธิบัตรกระบวนการทำสำเนาอย่างง่าย ซึ่งได้เปลี่ยนโฉมงานในสำนักงานไปมาก คาร์ลสันเริ่มต้นจากการคิดค้นทำแบบพิมพ์สีเขียวและเอกสารอื่นๆ ในปี พ.ศ. 2481 เขาได้ค้นพบวิธีทำสำเนาอย่างหยาบโดยใช้ประจุไฟฟ้า (คล้ายกับไฟฟ้าสถิต) กระบวนการดังกล่าวเรียกว่า Xerography ซึ่งมาจากภาษากรีกสองคำ คือ Xerox และ graphics ซึ่งแปลว่า แห้ง และ พิมพ์ ตามลำดับ ดังนั้น Xerography จึงหมายถึงการพิมพ์แห้ง