ส่วนใหญ่หลักฐานที่พบบนศิลาจารึกนั้นมักเป็นความเชื่อทางมหายานโดยการสังเกตว่าศิลาจารึกของมหายานจะจารึกด้วยภาษาสันสกฤษและฝ่ายเถรวาทนั้นจะจารึกด้วยภาษาบาลี

1. ศิลาจารึก พ.ศ. 2092 ภาษาไทย-บาลี อักษร ขอมสุโขทัย บัญชี/ทะเบียนวัตถุ/พล.2 พบที่พระเจดีย์วัดเสือ อำเภอเมือง จังหวัดพิษณุโลก ปัจจุบันอยู่ที่พิพิธภัณฑ์สถานแห่งชาติพระนคร กรุงเทพฯ กล่าวว่า

...สพฺพญฺญูตญาณปวรสีลํ นิพานรมฺมณํ ปวรวิลสิ ตเกส จตูถชานาปวร ลลาต วชฺชิรสมาปตฺติ ปวรอุ... ...อิมํ ธมฺมกายพุทฺธลกฺขณํ โยคาวจรกุลปุตฺเตน ติกฺขญาเณน สพฺพญฺญุพุทฺธภาวํ ปตฺเถนฺเตน ปุนปฺปุนํ อนุสฺสริตพฺพํฯ

คำแปล "พระพุทธลักษณะคือ ธรรมกาย มีพระเศียรอันเประเสริฐคือ พระนิพพาน อันเป็นอารมณ์แห่งผลสมาบัติ มีพระนลาฏอันเประเสริฐ คือจตุตถฌาน มีพระอุณาโลมอันประเสริฐ ประกอบด้วยพระรัศมี คือพระปัญญาในมหาวชิรสมาบัติ...

พระพุทธลักษณะ คือ "ธรรมกาย" นี้ อันโยคาวจรกุลบุตรผู้มีญานอันกล้า เมื่อปรารถนาซึ่งภาวะแห่งตน เป็นสัพพัญญูพุทธเจ้า พึงระลึกเนืองๆ ฯ"

2. ศิลาจารึกเมืองพิมาย เป็นศิลาจารึกภาษาสันสกฤต อักษรขอม มีอายุอยู่ในราวพุทธศตวรรษที่ 18 พบที่อำเภอพิมาย จังหวัดนครราชสีมา ได้มีการถอดความและแปลแล้ว จัดพิมพ์ขึ้นเป็นตัวหนังสือเรื่อง "จารึกพระเจ้าชัยวรมันที่ 7" ปัจจุบันอยู่ที่หอสมุดวชิรญาณ (หอสมุดแห่งชาติกรุงเทพฯ) กล่าวว่า

นโมวุทฺธายนิรฺมมาณ (ธรฺมสามฺโภคมูรฺตฺตเย) ภาวาภาวทฺวยาตีโต (ทฺวยาตฺมาโยนิราตฺมก:)

คำแปล "ขอความนอบน้อม จงมีแด่พระพุทธเจ้า ผู้มีนิรมาณกาย ธรรมกาย และสัมโภคกาย ผู้ล่วงพ้นภาวะและอภาวะทั้งสองผู้มีอาตมันเป็นสอง และหาอาตมันมิได้

3. ศิลาจารึกที่ปราสาทพระขรรค์ เป็นจารึกภาษาสันสกฤต กล่าวว่า

"สมฺภารวิสฺตรวิภาวิตธรฺมกาย สมฺโภคนิรฺมฺมิติวปุรฺภควานฺวิภกฺต:"

คำแปล "พระผู้มีพระภาค ผู้ประกอบด้วย ธรรมกาย อันพระองค์ยังให้เกิดขึ้นแล้วอย่างเลิศ ด้วยการสั่งสม (บุญบารมี) ทั้งสัมโภคกายและนิรมาณกาย"