การตั้งกิ่งอำเภอทำโดยประกาศกระทรวงมหาดไทย โดยมีหลักเกณฑ์การจัดตั้งตามที่กำหนดไว้ในมาตรา 64 ของพระราชบัญญัติลักษณะปกครองท้องที่ พ.ศ. 2457 ดังนี้

1. อำเภอใดมีท้องที่กว้างขวางซึ่งจะตรวจตราให้ตลอดท้องที่ได้โดยยาก แต่ในท้องที่นั้นมีราษฎรไม่มากพอที่จะตั้งเป็นอำเภอหนึ่งต่างหาก หรือ
2. ท้องที่อำเภอใดมีราษฎรจำนวนมากอยู่ห่างไกลที่ว่าการอำเภอ ยากแก่การตรวจตรา แต่ท้องที่เล็กเกินไป ไม่สมควรจะตั้งเป็นอำเภอหนึ่งต่างหาก

นอกจากหลักเกณฑ์ข้างต้น กระทรวงมหาดไทยโดยความเห็นชอบของคณะรัฐมนตรี เมื่อวันที่ 14 พฤษภาคม พ.ศ. 2539 ยังได้กำหนดหลักเกณฑ์ในการจัดตั้งกิ่งอำเภอไว้เป็นแนวทางปฏิบัติดังนี้

ก. กรณีเป็นชุมชนหนาแน่น

1. มีราษฎรไม่น้อยกว่า 30,000 คนขึ้นไป
2. มีตำบลไม่น้อยกว่า 5 ตำบล
3. ได้รับความเห็นชอบจากสภาตำบลหรือองค์การบริหารส่วนตำบล หัวหน้าส่วนราชการประจำอำเภอ หัวหน้าส่วนราชการประจำจังหวัดและสภาจังหวัด

ข. กรณีเป็นชุมชนห่างไกล

1. มีราษฎรไม่น้อยกว่า 15,000 คนขึ้นไป
2. มีตำบลไม่น้อยกว่า 4 ตำบล
3. ที่ว่าการกิ่งอำเภอใหม่ต้องห่างจากที่ว่าการอำเภอเดิมไม่น้อยกว่า 25 กิโลเมตร
4. ได้รับความเห็นชอบจากสภาตำบลหรือองค์การบริหารส่วนตำบล หัวหน้าส่วนราชการประจำอำเภอ หัวหน้าส่วนราชการประจำจังหวัด และสภาจังหวัด