ความดันไอสมดุลหมายถึงความดันเมื่อถึงสถานะควบแน่น (condensed phase) ที่อยู่ในภาวะสมดุลกับไอของมัน ในกรณีของภาวะสมดุลของผลึกของแข็ง ความดันเมื่ออัตราการระเหิดของของแข็งเท่ากับอัตราการหายกลายเป็นไอของมัน สำหรับของแข็งส่วนใหญ่ความดันนี้ต่ำมาก ยกเว้น แนพทาลีน (naphthalene) และน้ำแข็ง วัสดุที่เป็นของแข็งทั้งหมดมีความดันไอที่ต่ำมากและยากมากที่จะหาค่ามัน ซึ่งต้องมีวิธีพิเศษที่จะหาค่ามันคือ

• เทอร์โมกราวิเมตทรี (thermogravimetry)
• ก๊าซทรานสไปเรชัน (gas transpiration)