เยินส์ ยาคอบ แบร์ซีเลียส นักเคมีชาวสวีเดนเตรียมซิลิคอนในรูปธาตุอิสระได้ในปี ค.ศ. 1823 โดยผ่านซิลิคอนเตตระฟลูออไรด์ (SiF4) ไปยังโลหะโพแทสเซียมที่ร้อนแดง และเขาสามารถเตรียมธาตุนี้ได้จากปฏิกิริยาระหว่างโพแทสเซียมฟลูออซิลิเกตและโพแทสเซียมด้วย

เป็นไปได้ว่า โฌแซ็ฟ หลุยส์ แก-ลูว์ซัก และ หลุยส์ ฌัก เธนาร์ อาจเตรียมซิลิคอนอสัญฐานที่ไม่บริสุทธิ์โดยวิธีเดียวกันกับแบร์ซีเลียส ในปี ค.ศ. 1809

ซิลิคอนในรูปผลึกเตรียมขึ้นเป็นครั้งแรกโดยอ็องรี เอเตียน แซ็งต์-แคลร์ เดวีลล์ ในปี ค.ศ. 1854 โดยนำโซเดียมอะลูมินัมคลอไรด์เหลวที่ไม่บริสุทธิ์ (มี Si ประมาณ 10 %) มาแยกสลายด้วยไฟฟ้า