ตำบลแม่สลิด เดิมมีชื่อว่า "ตำบลยางโอง" ขึ้นกับอำเภอบ้านตาก จังหวัดตาก ต่อมาในวันที่ 30 กันยายน พ.ศ. 2471 ทางราชการได้แยกพื้นที่ตำบลสามเงา ตำบลบ้านนา ตำบลยกกระบัตร และตำบลยางโอง อำเภอบ้านตาก มาตั้งเป็น กิ่งอำเภอท่าปุย[3] (หรืออำเภอสามเงาในปัจจุบัน) และให้ขึ้นการปกครองกับอำเภอบ้านตาก ก่อนที่ต่อมาจะโอนพื้นที่ตำบลยางโองกลับเข้ามาในเขตอำเภอบ้านตากอีกครั้ง ปัจจุบันเป็น 1 ใน 7 ตำบลของอำเภอบ้านตาก