0.557 g/cm3 (liquid) at saturation pressure at 25 °C131.4 K (-141.8 °C) 195.0 K (-78.2 °C) ฟลูออโรมีเทน (หรือชื่ออื่นๆ ดังนี้ เมทิลฟลูออไรด์ หรือ ฟรีออน 41 ฮาโลคาร์บอน-41 และ HFC-41) เป็นสารประกอบที่ไม่เป็นพิษ ควบแน่นได้และติดไฟได้ที่สภาวะมาตรฐาน (STP) ใช้ในอุตสาหกรรมสารกึ่งตัวนำและผลิตภัณฑ์อิเล็กทรอนิกส์ ฟลูออโรมีแทนสามารถแตกตัวให้ฟลูออไรด์ได้เมื่อได้รับคลื่นวิทยุและจะกัดซิลิกอนให้เป็นตามแบบที่ต้องการได้