ระบบไฟฟ้าเครื่องกลจุลภาค (อังกฤษ: Microelectromechanical Systems ; MEMS) เป็นคำที่ใช้เรียกในประเทศสหรัฐอเมริกาและประเทศอื่นๆ ส่วนประเทศในทวีปยุโรปจะเรียกว่า ระะบบจุลภาค (Microsystems) ระบบไฟฟ้าเครื่องกลจุลภาค คือ อุปกรณ์ที่มีขนาดอยู่ในช่วงระดับไมโครเมตร (10-6 เมตร หรือ หนึ่งส่วนหนึ่งล้านเมตร) และมิลลิเมตร (10-3 หรือ หนึ่งส่วนหนึ่งพันเมตร) หรือระหว่าง 1 ไมโครเมตร และ 1 มิลลิเมตร ซึ่งรวมส่วนประกอบทางวิศวกรรมไฟฟ้าและวิศวกรรมเครื่องกลเข้าไว้ด้วยกัน โดยอุปกรณ์อาจมีความสามารถในการรับรู้ คำนวณประมวลผล ตอบสนอง ควบคุม สื่อสาร และมีแหล่งพลังงานรวมอยู่ภายในตัวเอง