พระครูวินัยธรมั่น ภูริทตฺโต ได้ออกจาริกธุดงค์มาทางภาคเหนือและได้พำนัก ณ ป่าช้าร้างติดกับสวนเจ้าสบาย พระตำหนักดาราภิรมย์ของเจ้าดารารัศมี พระราชชายาในรัชกาลที่ 5 ซึ่งเป็นสถานที่สงบ เป็นสปายะในการบำเพ็ญกรรมฐาน และมีพระสงฆ์ได้เข้ามาบำเพ็ญกรรมฐาน ณ ที่แห่งนี้ เมื่อชาวบ้านในละแวกเห็นแล้วได้เกิดศรัทธาจึงได้ร่วมกันสร้างเสนาสนะต่างๆ ถวายเพื่อให้คณะสงฆ์ได้ใช้ในกิจการสงฆ์ ต่อมาในปี พ.ศ. 2484 เจ้าลดาคำ ณ เชียงใหม่ ทายาทของเจ้าดารารัศมี พระราชชายา ได้ถวายที่ดินดังกล่าวซึ่งอยู่ในเขตพระราชฐานพระตำหนักเจ้าดารารัศมีให้แก่วัด

วัดป่าดาราภิรมย์ ได้ประกาศตั้งเป็นวัดวันที่ 21 ธันวาคม พ.ศ. 2481 และได้รับพระราชทานวิสุงคามสีมา เมื่อวันที่ 24 มิถุนายน พ.ศ. 2522 ประกอบพิธีผูกพัทธสีมา เมื่อวันที่ 9 กุมภาพันธ์ พ.ศ. 2523

ปัจจุบัน พระราชวิสุทธิญาณ (ฤทธิรงค์ ญาณวโร) เจ้าคณะจังหวัดเชียงใหม่ ลำพูน แม่ฮ่องสอน (ธ.) ดำรงตำแหน่งเจ้าอาวาส