หม่อมราชวงศ์เทพฤทธิ์ เทวกุล สมรสกับ คุณหญิงเทียงทอง เทวกุล มีบุตรธิดา 5 คนคือ

1. หม่อมหลวงตรีทศยุทธ เทวกุล
2. หม่อมหลวงท้าวเทวา เทวกุล
3. หม่อมหลวงธิดาเทพ เทวกุล
4. หม่อมหลวงเทพนุดี เทวกุล
5. หม่อมหลวงจิตติเทวัญ เทวกุล

หม่อมราชวงศ์เทพฤทธิ์ เทวกุล ถึงแก่กรรมเมื่อวันที่ 26 พฤศจิกายน พ.ศ. 2527 สิริรวมอายุได้ 70 ปี