ความเชื่อเรื่องพระอาทิพุทธะเกิดขึ้นครั้งแรกราวพุทธศตวรรษที่ 15 โดยคณาจารย์บางกลุ่มในมหาวิทยาลัยนาลันทาสร้างแนวคิดนี้ขึ้น[1]เพื่อเทียบกับแนวคิดปรมาตมันในศาสนาฮินดูที่กำลังรุ่งเรืองในสมัยนั้น

การนับถืออาทิพุทธะแพร่ไปในประเทศเนปาล โดยพุทธศาสนานิกายไอศวาริก ซึ่งเชื่อว่าอาทิพุทธะเกิดขึ้นพร้อมกับการเกิดของโลก คือเมื่อโลกเกิดเป็นรูปร่าง อาทิพุทธะก็ปรากฏพระกายในแสงสว่าง ไม่อาจบอกเบื้องต้น และจุดสิ้นสุดของพระองค์ได้ ประทับอยู่บนพรหมโลกชั้นที่ 13 เรียกอกนิษฐภูวนะหรืออกนิษฐพรหม อาทิพุทธะมีพระนามต่าง ๆ มากมาย ขึ้นกับแต่ละนิกาย นิกายไอศวาริกเรียกว่าอิศวร นิกายสวาภาวิกเรียกว่า สวภาวะ ในเนปาลและทิเบต บางครั้งเรียกพระองค์ว่า "โยคัมพร" สร้างรูปเป็นปางบำเพ็ญทุกรกิริยา มีศักติคือ ฌาเนศวร

ในญี่ปุ่นและจีน ไม่นิยมนับถืออาทิพุทธะ แต่นับถือพระธยานิพุทธะ 2 องค์คือพระอมิตาภพุทธะกับพระไวโรจนพุทธะว่าเป็นพระพุทธเจ้าสูงสุด และไม่ถือว่าพระพุทธเจ้าเหล่านี้มีศักติเช่นในเนปาลหรือทิเบต