มีประวัติเบื้องต้นเป็นตำนานเล่าว่า มีภิกษุรูปหนึ่งธุดงค์โปรดสัตว์ผ่านมาในเขตนี้ได้พบแต่ความกันดารแห้งแล้งมาตลอดทาง วันหนึ่งได้ภิกษาจารมาพบแม่น้ำสายหนึ่ง สะอาด มีต้นไม้ให้ความร่มรื่นชุ่มชื่นดี จึงได้กล่าวกับราษฎรแถบนี้ว่า แม่น้ำสายนี้เหมาะที่จะพักอาศัยเพราะมีความร่มเย็น นับแต่นั้นมาราษฎรแถบนี้จึงเรียกขานแม่น้ำสายนั้นว่า "น้ำแม่เหมาะ" แล้วจึงเรียกเพี้ยนเป็น "น้ำแม่เมาะ" จนถึงปัจจุบัน รวมตัวกันเป็นหมู่บ้านเก่าแก่เป็นเวลานับเป็นพันปี ดังนั้นราษฎรที่อำเภอแม่เมาะนี้จึงมีคนพื้นเมือง (คนเมือง) คนพื้นเมืองผสมพม่า คนพื้นเมืองผสมเงี้ยว (ไทยใหญ่) แต่โดยสภาพทั่วไปแล้วเป็นคนพื้นเมืองแทบทั้งสิ้น

ครั้นเมื่อปี พ.ศ. 2515 อำเภอเมืองลำปาง กรมการจังหวัดลำปาง และสภาจังหวัดลำปางได้พิจารณาเห็นว่า พื้นที่ของตำบลบ้านดง ตำบลนาสัก และตำบลจางเหนือเป็นท้องที่ทุรกันดาร เห็นสมควรจัดตั้งเป็นกิ่งอำเภอ จึงนำเรื่องเสนอต่อกระทรวงมหาดไทยพิจารณาและยกฐานะเป็น กิ่งอำเภอแม่เมาะ ขึ้นกับอำเภอเมืองลำปางเมื่อวันที่ 15 เมษายน พ.ศ. 2519[1] ที่ว่าการกิ่งอำเภอแม่เมาะก่อสร้างแล้วเสร็จเมื่อวันที่ 30 มิถุนายน พ.ศ. 2521 ต่อมาเมื่อ พ.ศ. 2523 ได้แบ่งตำบลบ้านดงออกตั้งเป็นตำบลแม่เมาะเพิ่มขึ้นอีก 1 ตำบลตามประกาศกระทรวงมหาดไทยลงวันที่ 19 มีนาคม พ.ศ. 2524

เมื่อสภาพเศรษฐกิจ สังคม และจำนวนราษฎรของกิ่งอำเภอแม่เมาะเพิ่มมากขึ้นจนสามารถยกฐานะเป็นอำเภอได้ กระทรวงมหาดไทยจึงได้เสนอคณะรัฐมนตรีพิจารณาอนุมัติให้ยกฐานะกิ่งอำเภอแม่เมาะเป็นอำเภอ โดยได้ตราพระราชกฤษฎีกาจัดตั้งและประกาศในราชกิจจานุเบกษาฉบับพิเศษ เล่มที่ 96 ตอนที่ 101 ลงวันที่ 16 กรกฎาคม พ.ศ. 2527 กิ่งอำเภอแม่เมาะจึงเป็น อำเภอแม่เมาะ ตั้งแต่วันที่ 27 กรกฎาคม พ.ศ. 2527 เป็นต้นมา[2]