เครื่องถ่ายเอกสารระบบไฟฟ้าสถิต เป็นกระบวนการถ่ายเอกสารแบบใช้กระดาษเคลือบ ซึ่งใช้ประจุไฟฟ้าลบในการถ่ายทอดภาพจากต้นฉบับ เช่นเดียวกับเครื่องถ่ายเอกสารแบบใช้กระดาษธรรมดา แต่กระบวนการของระบบไฟฟ้าสถิต ใช้วัสดุและเทคนิคคล้ายกับการอัดรูปถ่าย กล่าวคือ เริ่มต้นด้วยการทำให้กระดาษเคลือบมีประจุไฟฟ้าลบ แล้วปล่อยให้กระดาษเคลือบสัมผัส กับลำแสงที่สะท้อนมาจากต้นฉบับ จากนั้นผ่านกระดาษลงในสารละลายออกและเป่าให้แห้งด้วยอากาศร้อนก่อนออกจากเครื่อง กระดาษเคลือบเป็นกระดาษที่บริษัทผู้ผลิตเครื่องถ่ายเอกสารผลิตขึ้นมาเป็นพิเศษ หน้ากระดาษด้านที่สัมผัสกับแสงเคลือบด้วยซิงค์ออกไซด์ ซึ่งเป็นสารที่มีความไวต่อแสง ส่วนด้านหลังกระดาษเคลือบด้วยสารละลายเรซินซึ่งจะอุดรูพรุนของกระดาษ ทำให้กระดาษ ไม่ดูดซับของเหลวเมื่อถูกจุ่มลงในสารละลาย เนื่องจากกระดาษมีความไวต่อแสง ดังนั้น จึงต้องป้องกันไม่ให้ถูกแสง นอกจากในช่วงเวลาที่ถ่ายเอกสารเท่านั้น