ไมโครเทคโนโลยี (อังกฤษ: Micro Electro-Mechanical Systems-MEMS/Microsystems Technology -MST) หมายถึง เทคโนโลยีที่เกี่ยวข้องกับสิ่งที่มีขนาดเล็กมาก ๆ ในระดับที่ใหญ่กว่านาโนเทคโนโลยีในทางทฤษฎีแล้ว ไมโครเทคโนโลยีต่างจากนาโนเทคโนโลยีเชิงโมเลกุล (molecular nanotechnology) ไมโครเทคโนโลยีมีประกอบด้วยชิ้นส่วนที่มีขนาดระหว่าง 1 ถึง 100 ไมโครเมตร (0.001 ถึง 0.1 มิลลิเมตร) โดยทั่วไปอุปกรณ์ไมโครเทคโนโลยีแล้วจะมีขนาดตั้งแต่ 20 ไมโครเมตร ถึงระดับ มิลลิเมตร และจะมีหน่วยประมวลผลกลาง อุปกรณ์อื่น ๆ และไมโครเซนเซอร์[1]ขนาดในระดับของไมโครเทคโนโลยี ทำให้บางครั้งทฤษฎีฟิสิกส์แบบเก่าไม่สามารถใช้ได้ เพราะว่าอัตราของพื้นผิวต่อปริมาตรที่มากของไมโครเทคโนโลยีทำให้ผลกระทบจากพื้นผิว เช่นไฟฟ้าสถิต และ ภาวะการเปียก (ความสามารถของของเหลวในการรักษาหน้าสัมผัสกับพื้นผิวของแข็ง) มีอิทธิพลเหนือ ผลกระทบจากปริมาตร เช่น แรงเฉื่อย หรือ thermal mass