ZFS ถูกพัฒนาขึ้นโดยทีมนักพัฒนาจากซัน นำโดย Jeff Bonwick โดย ZFS เปิดตัวในวันที่ 14 กันยายน 2004 และซอร์สโค้ดของ ZFS ถูกนำเข้ารวมกับรุ่นหลักของ Solaris เมื่อวันที่ 31 ตุลาคม 2005 และแจกจ่ายกับ OpenSolaris รุ่น build 27 เมื่อวันที่ 16 พฤศจิกายน 2005 ซันได้ประกาศว่าจะนำ ZFS เข้าไปรวมกับ Solaris 10 รุ่นอัปเดต 6/06 ในเดือนมิถุนายน 2006 ซึ่งนับเป็นเวลาหนึ่งปีถัดจากการเปิดตัว ZFS ต่อชุมชนนักพัฒนา Solaris