ราชบัณฑิตยสถานได้วางหลักเกณฑ์เกี่ยวกับการทับศัพท์ภาษาต่างประเทศและเสนอให้คณะรัฐมนตรีประกาศใช้เป็นครั้งแรกใน ไบแนบที่ ๑ วิธีทับสัพท ของ ประกาสสำนักนายกรัถมนตรี เรื่องบัญญัติสัพทฉบับที่ ๑ เมื่อปี พ.ศ. 2485 ในครั้งนั้นได้กำหนดวิธีเทียบเสียงและถ่ายอักษรพยัญชนะและสระของภาษาตะวันตก 5 ภาษา ได้แก่ ภาษาฝรั่งเศส เยอรมัน สเปน อังกฤษ และอิตาลี รวมอยู่ในตารางเดียวกัน อย่างไรก็ตาม วิธีทับศัพท์ตามประกาศฉบับนี้เน้นการถอดตัวอักษรมากกว่าการถ่ายเสียง คำทับศัพท์จึงอ่านแล้วไม่ใกล้เคียงการออกเสียงในภาษาต้นฉบับ ในระยะหลัง คณะกรรมการบัญญัติศัพท์ของราชบัณฑิตยสถานจึงไม่ได้ยึดถือวิธีทับศัพท์ดังกล่าวอย่างเคร่งครัดนัก แต่พยายามทับศัพท์โดยการถ่ายเสียงมากขึ้น[1]

ต่อมาในปี พ.ศ. 2531 ราชบัณฑิตยสถานได้แต่งตั้งคณะอนุกรรมการปรับปรุงหลักเกณฑ์การทับศัพท์ขึ้น[2] เพื่อพิจารณากำหนดหลักเกณฑ์การทับศัพท์เป็นเอกเทศสำหรับภาษาแต่ละภาษา เนื่องจากเห็นว่าภาษาหนึ่ง ๆ มีลักษณะทางเสียงและโครงสร้างแตกต่างกับภาษาอื่น โดยเริ่มต้นจัดทำหลักเกณฑ์การทับศัพท์ภาษาอังกฤษเป็นลำดับแรก ส่วนหลักเกณฑ์การทับศัพท์ภาษาอื่น ๆ ให้จัดทำเฉพาะภาษาที่มีการเรียนการสอนในมหาวิทยาลัยของไทยก่อน[3] ในที่สุดคณะรัฐมนตรีก็ประกาศใช้หลักเกณฑ์การทับศัพท์ภาษาอังกฤษ (ตามที่ราชบัณฑิตยสถานเสนอ) เมื่อวันที่ 26 สิงหาคม พ.ศ. 2532 และประกาศใช้หลักเกณฑ์การทับศัพท์ภาษาฝรั่งเศส เยอรมัน อิตาลี สเปน รัสเซีย ญี่ปุ่น อาหรับ และมลายู (รวมอินโดนีเซีย) ในคราวเดียวกันเมื่อวันที่ 5 มีนาคม พ.ศ. 2535

หลังจากที่หลักเกณฑ์การทับศัพท์ภาษาต่าง ๆ ได้รับการเผยแพร่และนำไปใช้ได้ระยะหนึ่ง ก็พบว่ายังมีปัญหาอยู่อีกหลายประการ ทั้งยังมีผู้ท้วงติงและเสนอข้อคิดเห็นไปยังราชบัณฑิตยสถานอยู่เนือง ๆ ราชบัณฑิตยสถานจึงแต่งตั้งคณะกรรมการปรับปรุงหลักเกณฑ์การทับศัพท์เมื่อวันที่ 20 มิถุนายน พ.ศ. 2546[3] เพื่อพิจารณาทบทวนและปรับปรุงหลักเกณฑ์การทับศัพท์เสียใหม่ให้สอดคล้องกับสถานการณ์ทางภาษาที่เปลี่ยนแปลงไป รวมทั้งแก้ไขข้อบกพร่องต่าง ๆ เพื่อให้สามารถนำไปใช้ประโยชน์ได้กว้างขวางขึ้น จากนั้นจึงทยอยเสนอคณะรัฐมนตรีให้ประกาศใช้หลักเกณฑ์ที่ปรับปรุงเรียบร้อยแล้วแทนหลักเกณฑ์เดิม ได้แก่ หลักเกณฑ์การทับศัพท์ภาษาฝรั่งเศส ประกาศใช้เมื่อวันที่ 9 สิงหาคม พ.ศ. 2553; หลักเกณฑ์การทับศัพท์ภาษาอาหรับ ประกาศใช้เมื่อวันที่ 7 มีนาคม พ.ศ. 2554; หลักเกณฑ์การทับศัพท์ภาษาเยอรมัน สเปน ญี่ปุ่น และมลายู ประกาศใช้เมื่อวันที่ 13 มีนาคม พ.ศ. 2561

ในขณะเดียวกัน ราชบัณฑิตยสถาน (ปัจจุบันเปลี่ยนชื่อเป็นสำนักงานราชบัณฑิตยสภา) ยังได้แต่งตั้งคณะกรรมการจัดทำหลักเกณฑ์การทับศัพท์ภาษาอื่น ๆ เพิ่มอีกเพื่อให้ทันต่อความต้องการใช้งานในปัจจุบัน ได้แก่ หลักเกณฑ์การทับศัพท์ภาษาจีนและฮินดี ซึ่งมีประกาศสำนักนายกรัฐมนตรีให้ใช้เป็นมาตรฐานเป็นครั้งแรกเมื่อวันที่ 19 กรกฎาคม พ.ศ. 2548; หลักเกณฑ์การทับศัพท์ภาษาเกาหลีและเวียดนาม ซึ่งมีประกาศสำนักนายกรัฐมนตรีให้ใช้เป็นมาตรฐานเมื่อวันที่ 22 มิถุนายน พ.ศ. 2555; หลักเกณฑ์การทับศัพท์ภาษาพม่าและหลักเกณฑ์การทับศัพท์ภาษาอินโดนีเซีย ซึ่งมีประกาศสำนักนายกรัฐมนตรีให้ใช้เป็นมาตรฐานเมื่อวันที่ 13 มีนาคม พ.ศ. 2561