ในสยามเริ่มมีพระยศเจ้าฟ้าใช้ครั้งแรกในปี พ.ศ. 2106 เมื่อสมเด็จพระมหาธรรมราชาธิราชผู้ครองเมืองพิษณุโลกยอมอ่อนน้อมต่อพระเจ้าบุเรงนองแห่งกรุงหงสาวดี จึงทรงตั้งสมเด็จพระมหาธรรมราชาเป็นเจ้าฟ้าสองแคว ทำนองเดียวกับเจ้าฟ้าไทใหญ่ที่เป็นประเทศราชของหงสาวดีในขณะนั้น เมื่อถึงรัชสมัยสมเด็จพระนเรศวรมหาราช สมเด็จพระเอกาทศรถทรงออกพระนามสมเด็จพระเชษฐาธิราชว่าสมเด็จบรมบาทบงกชลักษณอัครบุริโสดม บรมหน่อนรา เจ้าฟ้านเรศ เชษฐาธิบดี แต่เมื่อสมเด็จพระเอกาทศรถสืบราชสมบัติ ทรงเลิกใช้คำว่าเจ้าฟ้าในคำสร้อยพระนามพระเจ้าแผ่นดิน แต่เฉลิมพระนามพระราชโอรสทั้งสองพระองค์ที่ประสูติแต่พระอัครมเหสีเป็นเจ้าฟ้าสุทัศน์และเจ้าฟ้าศรีเสาวภาค นับแต่นั้นมา เจ้าฟ้าจึงกลายเป็นสกุลยศของลูกหลวงที่พระมารดาเป็นเจ้า ต่อมาจึงขยายไปถึงหลานหลวงที่พระบิดาและพระมารดาทั้งสองฝ่ายเป็นเจ้าฟ้า หลานหลวงนั้นให้เป็นเจ้าฟ้าด้วย[3]