ครั้นบ้านเมืองสงบสุขภายใต้การปกครองของพระเจ้ามหันตยศแล้ว ในปี พ.ศ. 1236 พระนางจามเทวีซึ่งมีพระชนมายุได้ 60 พรรษาแล้ว จึงทรงละจากการกำกับดูแลราชการแผ่นดินทั้งปวง และทรงสละเพศฆราวาสฉลองพระองค์ขาวเสด็จไปประทับทรงศีลที่วัดจามเทวี และทรงเอาพระทัยใส่ต่อการทำนุบำรุงพระพุทธศาสนายิ่งขึ้นอีกมากมาย กระทั่งถึง พ.ศ. 1274 จึงเสด็จสวรรคต รวมพระชันษาได้ 98 พรรษา

ส่วนในตำนานมูลศาสนา และจามเทวีวงศ์กล่าวแตกต่างออกไปว่า พระนางจามเทวีได้เสวยราชย์ในนครหริภุญชัยเพียง 7 ปี แล้วสละราชบัลลังก์พระราชทานพระเจ้ามหันตยศ จากนั้นเสด็จไปประทับที่เขลางค์นครกับอาลัมพางค์นครกับพระเจ้าอนันตยศอีก 6 ปี ครั้นเริ่มประชวรเสด็จกลับมายังหริภุญชัย เสด็จพระราชดำเนินเลียบพระนครโดยทักษิณาวรรตแล้วทรงศีลต่อไปอีกเพียง 8 วัน พระโรคาพาธก็กำเริบแรงกล้าจนถึงเสด็จสวรรคต หลังสวรรคคตแล้วพระองค์ก็ได้ไปเกิดบนสวรรค์ชั้นดุสิต

หลังจากนั้น พระเจ้ามหันตยศจึงโปรดฯ ให้จัดพิธีบูชาสักการะพระศพเป็นการใหญ่ 7 วัน แล้วจึงก่อพระเมรุมาศสำหรับถวายพระเพลิง จัดให้มีการสมโภชพระศพเป็นการใหญ่ 7 วัน แล้วจึงถวายพระเพลิง หลังเสร็จการถวายพระเพลิงพระศพแล้วจึงได้เชิญพระอัฐิไปบรรจุไว้ในสุวรรณจังโกฏิเจดีย์ (ปัจจุบันเรียกกันเป็นสามัญว่า เจดีย์กู่กุด) ภายในวัดจามเทวี อำเภอเมืองลำพูน จังหวัดลำพูนในปัจจุบัน[6]