ในภาษาอังกฤษ คำว่า ontology ('การศึกษาสัต') เกิดจากการรวมคำว่า onto- (กรีก: กรีก: ὄν; ,[lower-roman 1] สัมพันธการก: กรีก: ὄντος) กับคำว่า -logia (กรีก: -λογία|lit=การบรรยายเชิงตรรกะ (logical discourse)|label=none}})[3][4]การปรากฏใช้คำว่า ontology ครั้งแรกในภาษาอังกฤษ ตามที่บันทึกไว้ในOxford English Dictionary[5] ปรากฏพบในปี 1664 ใน Archelogia philosophica nova... โดย Gideon Harvey[6]

ส่วนในภาษาไทย คำว่า ภววิทยา มาจากการรวมคำว่า ภว (สภาวะแห่งการดำรงอยู่ หรือ state of existence) ในภาษาบาลี กับคำว่า วิทยา (ความรู้) ในภาษาสันสกฤต