ในปี 214 เล่าปี่ทำศึกแย่งชิงมณฑลอี้จากเล่าเจี้ยง ม้าเฉียวคลางแคลงในตัวเตียวฬ่อและรู้สึกว่าเตียวฬ่อคงไม่สามารถประสบความสำเร็จอะไรได้ จึงวางแผนที่จะแปรพักตร์ไปหาเล่าปี่ เมื่อม้าเฉียวได้ข่าวว่าเล่าปี่กำลังล้อมเฉิงตู (เมืองหลวงของอี้) ม้าเฉียวจึงเขียนจดหมายลับไปยังเล่าปี่ มีความว่าปรารถนาจะรับใช้ เล่าปี่รู้สึกยินดีที่ได้รับจดหมายและพูดว่า "มณฑลอี้เป็นของข้า" เล่าปี่ส่งลิอิ๋นไปพบม้าเฉียวพร้อมทั้งมอบเสบียงและทหารให้ หลังจากนั้นม้าเฉียวเดินทางขึ้นเหนือและไปร่วมล้อมเมืองด้วย ภายในสิบวันนับจากที่ม้าเฉียวมาถึง เล่าเจี้ยงเลิกรบและยอมแพ้แก่เล่าปี่

หลังจากยึดเมืองอี้ เล่าปี่แต่งตั้งม้าเฉียวเป็น General Who Pacifies the West (平西將軍) และให้ดูแลหลินจู (臨沮; ทางตะวันออกเฉียงเหนือของเมืองหยวนอัน มณฑลหูเป่ย์ในปัจจุบัน) เล่าปี่เอาชนะโจโฉในศึกฮั่นจงในปี 219 และสถาปนาตนเองเป็นฮั่นจงอ๋อง (漢中王) หลังจากนั้นจึงแต่งตั้งม้าเฉียวเป็น General of the Left (左將軍)

ในปี 221 เล่าปี่สถาปนาตนเองขึ้นเป็นจักรพรรดิและสร้างจ๊กก๊กขึ้นมา พระเจ้าเล่าปี่ทรงตั้งม้าเฉียวเป็น General of Agile Cavalry (驃騎將軍) และผู้ว่า (牧) มณฑลเหลียง ม้าเฉียวได้รับยศขุนนางเป็น Marquis of Tai District (斄鄉侯) พระบรมราชโองการของพระเจ้าเล่าปี่เขียนไว้ดังนี้:

"ข้าไม่มีความสามารถ แต่ข้าขึ้นครองบัลลังก์เพื่อดำรงราชวงศ์ฮั่นเอาไว้ โจโฉและโจผีจะถูกจดจำในสิ่งเลวร้ายที่กระทำไว้ ข้ารู้สึกเสียใจกับการกระทำผิดของพวกมัน ผู้คนต่างเกลียดชังพวกมันและหวังว่าราชวงศ์ฮั่นจะได้รับการฟื้นฟู เนื่องด้วยชนเผ่าตี๊ ชนเผ่าเฉียง ชนเผ่าชุ่นหยู่ และชนกลุ่มน้อยอื่น ๆ เต็มใจยอมรับในการปกครองของเรา ชาวเหนือชื่นชมในตัวเจ้า และความกล้าหาญของเจ้าก็เป็นที่รู้กันดี ข้ามีงานสำคัญให้กับเจ้า ข้าหวังว่าเจ้าจะใช้อานุภาพของเจ้าในการปกครองชายแดนทางเหนือและสร้างความเจริญให้กับผู้คนที่นั่น เจ้าต้องแสดงให้เห็นถึงคุณประโยชน์ของการปกครองของเรา และต้องมีใจเป็นธรรมในการให้รางวัลคนดีและลงโทษคนชั่ว เจ้าได้รับคำอวยพรจากจักรพรรดิราชวงศ์ฮั่น และเจ้าต้องไม่ทำให้ผู้คนผิดหวัง"

กรณีเผิงหยาง

เมื่อเผิงหยาง คนของเล่าปี่ ที่กำลังจะออกเฉิงตูเพื่อไปรับตำแหน่งใหม่ในเจียงยาง เข้าพบม้าเฉียวและบอกว่า "ท่านเป็นคนนอก ในขณะที่ข้าเป็นคนใน จักรวรรดิสามารถทำให้สงบลงได้" ม้าเฉียวพึ่งเข้าร่วมกับทัพเล่าปี่และบ่อยครั้งที่กลัวว่าจะเกิดปัญหาขึ้น หลังจากได้ยินที่เผิงหยางพูด ม้าเฉียวตกใจและคิดว่าเผิงหยางต้องการให้เขาเข้าร่วมการทำรัฐประหารเล่าปี่ อย่างไรก็ตาม ม้าเฉียวนิ่งเงียบและไม่ได้พูดตอบ หลังจากเผิงหยางออกไป ม้าเฉียวรายงานให้เล่าปี่ทราบ เผิงหยางถูกจับและประหาร