ในปลายปี 2529 มูลนิธิพุทธภาวนาวิชชาธรรมกาย โดยศาสตราจารย์บัญญัติ สุชีวะ (อดีตประธานศาลฎีกา) ประธานมูลนิธิฯ ได้ยื่นคำขอต่อกระทรวงศึกษาธิการเพื่อขออนุญาตสร้างวัด บนที่ดิน 72.5 ไร่ ภายในบริเวณที่ดินของมูลนิธิ/สถาบันพุทธภาวนาวิชชาธรรมกาย ริมถนนสายดำเนินสะดวก-บางแพ อำเภอดำเนินสะดวก จังหวัดราชบุรี และได้รับอนุญาตให้สร้างวัดได้ เมื่อวันที่ 25 พฤษภาคม 2530 และในวันที่ 2 ธันวาคม ปีเดียวกัน เจ้าประคุณ สมเด็จพระพุทธโฆษาจารย์ วัดสามพระยา ได้เป็นผู้เจิมแผ่นศิลาฤกษ์ เพื่อประกอบพิธีวางศิลาฤกษ์การก่อสร้างอุโบสถ เมื่อการก่อสร้างอุโบสถจวนจะแล้วเสร็จ รวมทั้งมีเสนาสนะ พระภิกษุ สามเณร อยู่จำพรรษาศึกษาและปฏิบัติธรรม ตามสมควร ศาสตราจารย์บัญญัติ สุชีวะ ประธานมูลนิธิพุทธภาวนาวิชชาธรรมกาย ก็ได้ขออนุญาตตั้งเป็นวัด และกระทรวงศึกษาธิการ (โดยความเห็นชอบของมหาเถรสมาคม เมื่อวันที่ 20 มีนาคม พ.ศ. 2534) จึงได้ประกาศตั้งเป็นวัดขึ้นในพระพุทธศาสนาขึ้น ชื่อ "วัดหลวงพ่อสดธรรมกายาราม" เพื่อเป็นอนุสรณ์แด่หลวงพ่อวัดปากน้ำ พระมงคลเทพมุนี (สด จนฺทสโร) ผู้ปฏิบัติและสอนภาวนาถึงธรรมกายและพระนิพพานตามพระสัทธรรมของสมเด็จพระสัมมาสัมพุทธเจ้า เมื่อวันที่ 21 พฤษภาคม พ.ศ. 2534 และได้รับพระราชทานวิสุงคามสีมา เมื่อวันที่ 26 พฤศจิกายน ในปีเดียวกัน เป็นระยะเวลา 10 ปี นับแต่ตั้งสถาบันฯ ซึ่งเป็นเวลาที่ อาจารย์พระมหาเสริมชัย ชยมงฺคโล (ปัจจุบันคือ หลวงพ่อ พระราชญาณวิสิฐ) อุปสมบทได้ 5 พรรษา อายุได้ 62 ปี ได้ศึกษาภาคปริยัติจากสำนักเรียนวัดปากน้ำ ภาษีเจริญ จนสำเร็จ เปรียญธรรม 3 ประโยค และ นักธรรมเอก เป็นพระมหาเปรียญ ได้รับแต่งตั้งเป็น เจ้าอาวาสวัดหลวงพ่อสดธรรมกายาราม อำเภอดำเนินสะดวก จังหวัดราชบุรี เมื่อวันที่ 9 กรกฎาคม พ.ศ. 2534 ท่านจึงได้กราบลาพระเดชพระคุณหลวงพ่อ สมเด็จพระมหารัชมังคลาจารย์ เจ้าอาวาสวัดปากน้ำ ภาษีเจริญ มารับตำแหน่งเป็นเจ้าอาวาสวัดหลวงพ่อสดธรรมกายาราม ตั้งแต่บัดนั้นเป็นต้นมา และต่อจากนั้น ท่านยังได้ศึกษาภาคปริยัติแผนกบาลีต่อจนสำเร็จเป็นเปรียญธรรม 6 ประโยค เมื่อต้นปี พ.ศ. 2537 (เมื่ออายุ 65 ปี) วัดหลวงพ่อสดธรรมกายาราม จึงได้ก่อตั้งขึ้นเพื่อดำเนินกิจกรรมสืบต่อวัตถุประสงค์ของ สถาบันพุทธภาวนาวิชชาธรรมกาย เพื่อสืบบวรพุทธศาสนา วิชชาธรรมกายของพระพุทธเจ้า ที่พระเดชพระคุณ พระมงคลเทพมุนี (สด จนฺทสโร) ได้สั่งสอนและถ่ายทอดไว้ ให้วัฒนาถาวรยิ่งๆ ขึ้นไป ตราบชั่วกาลนาน.