ก่อตั้งโดยพระอาจารย์เจ้าตั๊กฮี้ ท่านได้บรรพชา ณ สำนักวัดมังกรกมลาวาส โดยมีพระอาจารย์จีนวังสมาธิวัตร (กวยหงอ) เจ้าคณะใหญ่จีนนิกายแห่งประเทศไทย รูปที่สอง เป็นพระอุปัชฌาย์ และศึกษาธรรม ณ วัดมังกรกมาลาวาส

ครั้นญาติพี่น้องในเมืองไทยของท่านทราบว่าได้ออกบวชที่ประเทศไทย จึงได้ส่งข่าวให้ภรรยาของท่านที่เมืองจีนทราบ ภรรยาของท่านจึงได้เดินทางมาเมืองไทยเพื่ออ้อนวอนร้องขอนิมนต์ท่านกลับมาตุภูมิ ท่านทนการอ้อนวอนไม่ได้จึงจำต้องกลับสู่มาตุภูมิ แต่ท่านก็ไม่หวั่นไหวด้วยโลกธรรมใดๆ แต่กลับเพิ่มทวีการบำเพ็ญสมณธรรมอย่างเคร่งครัด โดยบำเพ็ญภาวนาในคอกโค สมาทานธุดงควัตรต่างๆ เพื่อให้สำเร็จเป็นตบะธรรมเผากิเลส

ฝ่ายภรรยาของท่านนั้นมักมากวนท่านอยู่เนืองๆ เช่น จัดอาหารถวายท่านแต่ได้แทรกชิ้นเนื้อสัตว์ในอาหารชนิดนั้นด้วย โดยหวังจะให้ท่านเลิกมังสวิรัติ แต่ท่านก็เลือกฉันเฉพาะที่พวกเป็นพืชผัก บางคราวก็ถึงกับยอมอดฉันแต่กากใบชาแทน ด้วยอานุภาพแห่งสมาธิภาวนาและสัจจะที่แรงกล้าของท่าน ทำให้ท่านมีวรรณะผุดผ่องใครที่เข้าใกล้ก็ได้รสธรรมจากท่านด้วย จนภรรยาของท่านได้สติจึงได้กราบขมาโทษจากท่านและขอบำเพ็ญพรตถือศีลกินเจตามท่านด้วย

ครั้นเมื่อท่านได้เดินทางกลับสู่ประเทศไทย เพื่อบำเพ็ญสมณธรรม พระอาจารย์กวยหงอ เห็นความเคร่งครัดของท่าน จึงได้มอบหมายให้ท่านเป็นผู้แสดงธรรมแก่สาธุชนทั้งชาวไทย-ชาวจีน ประจำ ณ สำนักเต๊กฮวยตึ๊ง จังหวัดเพชรบุรี

ต่อมาพระอาจารย์ตั๊กฮี้ ได้รับตำแหน่งเป็นเจ้าอาวาสวัดจีนประชาสโมสร (เล่งฮกยี่) และนับเป็นอดีตเจ้าอาวาสรูปที่ 3 ณ ที่วัดแห่งนี้ท่านอาจารย์ได้รับศิษยานุศิษย์เพื่อบรรพชาจำนวนกว่า 30 รูป และมีศิษย์ที่สำคัญรูปหนึ่งฉายา “เซี่ยงหงี” ต่อมาท่านได้รับพระราชทานสมณศักดิ์เป็นพระอาจารย์จีนวังสสมาธิวัตร เป็นอดีตเจ้าคณะใหญ่จีนนิกายรูปที่ 5 พระอาจารย์ตั๊กฮี้ได้ครองวัดอยู่ระยะหนึ่ง จึงออกจาริกแสดงธรรมโปรดชาวพุทธตามจังหวัดต่างๆ เรื่อยมาจนถึงจึงหวัดชลบุรี

ต่อมาท่านได้จาริกแสดงธรรมมาถึงจังหวัดชลบุรี และได้แสดงธรรมะ พุทธศาสนิกชนต่างพากันเลื่อมใสปฏิปทาวัตรปฏิบัติของท่าน ในครั้งนั้นมีทายกทายิกาผู้ใจบุญหลายคนได้ถวายที่ดิน เช่น นายเผือด, นายถมยา,นางถั่ว เพื่อให้ท่านได้สร้างวัดเพื่อจำพรรษา และตั้งชื่อเป็นภาษาจีนว่าวัด “เซียนฮุดยี่” ต่อมาจึงตั้งชื่อเป็นภาษาไทยว่า “วัดเทพพุทธาราม” โดยมีเหตุผลของการตั้งชื่อวัดนี้ เพื่อเป็นอนุสรณ์ว่าเดิมก่อนที่ท่านจะบวชได้ถือลัทธิเต๋า ซึ่งมีอุดมคติสำเร็จเป็นเซียนหรือเทพเจ้า และต่อมาท่านได้บรรพชาอุปสมบทในพระพุทธศาสนา ซึ่งมีอุดมคติสำเร็จพระอนุตรสัมมาสัมโพธิญาณ ท่านจึงนำชื่อมาผสมกันว่าวัด “เซียนฮุดยี่ หรือ วัดเทพพุทธาราม” ส่วนทางวัดจีนประชาสโมสร จังหวัดฉะเชิงเทรานั้น ท่านได้มอบหมายให้พระอาจารย์เซี่ยงหงี ซึ่งเป็นศิษย์ให้ดูแลต่อมาจึงได้รับแต่งตั้งเป็นเจ้าอาวาส

ภายหลัง ช่วงบั้นปลายชีวิตของท่านพระอาจารย์ตั๊กฮี้ ท่านได้เกิดเจ็บป่วยเนื่องจากความชราภาพ พระอาจารย์เซียงหงี เจ้าอาวาสวัดจีนประชาสโมสร เห็นว่าท่านจำพรรษาอยู่ที่วัดเทพพุทธาราม ไม่มีลูกศิษย์ดูแลท่านอย่างใกล้ชิด จึงได้เดินทางมานิมนต์ท่านกลับวัดจีนประชาสโมสรเพื่อจะทำการรักษาอาการเจ็บป่วย และจะได้ดูแลท่านอย่างใกล้ชิด ต่อมาไม่นานท่านได้ถึงแก่กาลดับขันธ์ ขณะ ที่ท่านใกล้จะดับขันธ์ท่านกำหนดรู้เวลาดับขันธ์ของท่านเอง จึงได้ลุกขึ้นนั่งเข้าสมาบัติมีสติสัมปัชชัญญะตั้งอยู่ในอารมณ์พระกัมมัฏฐาน แล้วกระทำกาลกิริยาลงด้วยอาการสงบ ด้วยอานุภาพของสมาธิพละที่อบรมปฏิบัติมา ยังให้สรีระสังขารของท่านมิได้เน่าเปื่อยผุพังอย่างน่าอัศจรรย์ ณ วัดจีนประชาสโมสร

หลังจากนั้น มาท่านพระอาจารย์เซียงหงี เจ้าอาวาสวัดจีนประชาสโมสร ได้ทำหน้าที่รักษาการเจ้าอาวาสและดูแลวัดเทพพุทธาราม ระยะหนึ่ง ภายหลังท่านพระอาจารย์เซียงหงี ได้รับการสถาปณาเป็น พระอาจารย์จีนวังสมาธิวัตร เจ้าคณะใหญ่จีนนิกาย องค์ที่5 จึงได้ย้ายไปจำพรรษาที่วัดมังกรกมลาวาส ที่เยาวราช โดยมีพระภิกษุเซี่ยงกุ่ย เซี่ยงกี่ มาดูแลชั่วคราว ต่อมาท่านได้ขอลาออกจากตำแหน่ง วัดจึงได้เสื่อมโทรมลงไปชั่วขณะหนึ่ง

จนมาถึงยุคพระเดชพระคุณพระมหาคณาจารย์จีนธรรมสมาธิวัตรฯ (โพธิ์แจ้งมหาเถระ) อดีตเจ้าคณะใหญ่สงฆ์จีนนิกายรูปที่ 6 จึงได้รับภาระหน้าที่ และได้ขอประทานกราบเรียนเสนอ สมเด็จพระสังฆนายก ในสมัยนั้นเพื่ออนุมัติให้แต่งตั้งคณะกรรมการสงฆ์ขึ้นดูแลวัด โดยมีหลวงจีนธรรมนันท์จีนประพัทธ์ (อี่เม้ง) เป็นประธาน พระภิกษุเย็นเส็ก เป็นรองประธานรับหน้าที่ดูแลควบคุมกิจการต่างๆ ของวัดและมีพระภิกษุเย็นสู่ พระภิกษุเย็นเทียน พระภิกษุเซี่ยงกุ่ย เป็นกรรมการ ต่อมาเมื่อปีพุทธศักราช 2505 ทางวัดได้สร้างวิหารพระบูรพาจารย์ กุฏิเจ้าอาวาส กุฏิสงฆ์ 16 ห้อง หอธรรม หอฉัน หอต้อนรับอาคันตุกะเรียบร้อยแล้ว ยังคงมีแต่พระเจดีย์อุโบสถประจำวัดที่จะดำเนินการสร้างให้สำเร็จต่อไป

และในปีดังกล่าว คณะกรรมการได้จัดงานมหากุศล อาจาริยาภิเศกอัญเชิญสรีรกายของพระอาจารย์ตั๊กฮี้ขึ้นประดิษฐาน ณ วิหารบูรพาจารย์ แล้วประกอบพีธีสวดมนต์อุทิศถวายเป็นเวลา 3 วัน 3 คืน ต่อมาพุทธศักราช 2512 พระเจดีย์อุโบสถประจำวัดได้สร้างสำเร็จลง โดยพึ่งบารมีของ พระมหาคณาจารย์จีนธรรมสมาธิวัตรฯ (โพธิ์แจ้งมหาเถระ) อดีตเจ้าคณะใหญ่จีนนิกายรูปที่ 6 ตลอดจน คณะแรงศรัทธาของสาธุชนและคณะองค์กรกุสลต่างๆ ทางวัดจึงได้ประชุมกำหนดงานผูกพันธสีมาขึ้น ตั้งแต่วันที่ 16-24 กุมภาพันธ์ พ.ศ. 2512 รวม 9 วัน 9 คืน โดยขอประทานกราบทูลสมเด็จพระสังฆราช วัดมกุฏกษัตริยาราม ทรงเป็นองค์ประธานประกอบพิธีผูกพัทธสีมา เมื่อวันที่ 24 กุมภาพันธ์ พ.ศ. 2512 การดำเนินการสร้างบูรณะวัดจึงสำเร็จลุล่วงสมบูรณ์ ในยุคสมัยของพระมหาคณาจารย์จีนธรรมสมาธิวัตรฯ (โพธิ์แจ้งมหาเถระ)

นับแต่นั้นมา วัดเทพพุทธาราม ก็ มีภิกษุจำพรรษาสืบต่อมาถึงปัจจุบัน