ฝ่ายประสานมิตรได้คัดค้านจักรพรรดินโปเลียนในการยุบสมาพันธรัฐแห่งลุ่มแม่น้ำไรน์เมื่อวันที่ 4 พฤศจิกายน ค.ศ. 1813 แต่ไม่เป็นผล ต่อมาหลังการเลิกล้มสมาพันธรัฐ ก็มีความพยายามที่จะรวมชาติเยอรมนีอีกครั้ง กระทั่งเมื่อมีการสถาปนาสมาพันธรัฐเยอรมันในวันที่ 8 มิถุนายน ค.ศ. 1815 โดยองค์กรบริหารของสมาพันธรัฐนี้เรียกว่าสภาการปกครองส่วนกลาง (เยอรมัน: Zentralverwaltungsrat) โดยประธานสภาได้แก่ ไฮน์ริช ฟรีดริช คาร์ล ไรช์สไฟรเฮอร์ ฟอม อุนด์ ซุม สไตน์ (ค.ศ. 1757 – 1831) ซึ่งต่อมาองค์กรนี้ก็ได้ล้มเลิกไปในวันที่ 20 มิถุนายน ค.ศ. 1815

สนธิสัญญาปารีสได้ประกาศให้บรรดารัฐเยอรมันได้รับเอกราชในวันที่ 30 พฤษภาคม ค.ศ. 1814

ในปี ค.ศ. 1815 ที่ประชุมการประชุมใหญ่แห่งเวียนนาได้ร่างแผนที่รัฐกิจของยุโรปภาคพื้นทวีปขึ้นใหม่ รัฐสมาชิกของสมาพันธรัฐแห่งลุ่มแม่น้ำไรน์ที่เหลืออยู่ส่วนมากมีการเปลี่ยนแปลงเขตแดนเพียงเล็กน้อย และมีผลทำให้เกิดสมาพันธรัฐเยอรมัน ซึ่งประกอบด้วยรัฐสมาชิกจำนวนใกล้เคียงใกล้เคียงกับสมาพันธรัฐแห่งลุ่มแม่น้ำไรน์