นับตั้งแต่ราว พ.ศ. 2458 มาจนถึง พ.ศ. 2475 ประเทศไทยเคยมีเขตการปกครองซึ่งเรียกว่า มณฑลเทศาภิบาล โดยมีพื้นที่หน่วยใหญ่กว่ามณฑล เรียกว่าบริเวณ จังหวัดแรก ๆ ของไทย เคยถูกเรียกว่าเมือง โดยพัฒนามาจากนครรัฐในประวัติศาสตร์ มีทั้งเมืองซึ่งเป็นอิสระจากกรุงเทพมหานคร (หรือที่กลายมาเป็นจังหวัดในปัจจุบัน) เช่นเดียวกับเมืองที่อยู่ภายใต้การปกครองดูแลของเมืองใกล้เคียงที่มีอำนาจเหนือกว่า หรือเป็นส่วนหนึ่งของรัฐบรรณาการกึ่งเอกราช ในปี พ.ศ. 2449 เริ่มมีการเปลี่ยนแปลงคำว่า "เมือง" ไปเป็น "จังหวัด" ก่อนที่จะแล้วเสร็จในปี พ.ศ. 2459[3] หลังจากการยกเลิกมณฑล เขตการปกครองใหม่ที่ใช้แทนเรียกว่า ภาค ในระยะแรกนั้น ประเทศไทยแบ่งออกเป็น 4 ภาค โดยมีการเปลี่ยนแปลงเพิ่มขึ้นเป็น 9 ภาค เมื่อปี พ.ศ. 2494 แต่การแบ่งเขตการปกครองแบบนี้ ก็ยกเลิกไปในปี พ.ศ. 2499

สำหรับเทศบาล เคยมีชื่อเรียกว่าสุขาภิบาล ซึ่งส่วนใหญ่มีหน้าที่เกี่ยวกับงานด้านสุขาภิบาล เช่น การกำจัดของเสีย สุขาภิบาลก่อตั้งขึ้นเป็นครั้งแรกในปี พ.ศ. 2451[4] และได้ยกฐานะเป็นเทศบาลตำบลทั้งหมดเมื่อเดือนพฤษภาคม พ.ศ. 2542[5] ส่วนกิ่งอำเภอ ถือเป็นอำเภอประเภทพิเศษ ซึ่งบางส่วนยังคงเป็นส่วนหนึ่งของอีกอำเภอหนึ่ง โดยปกติแล้วกิ่งอำเภอซึ่งจัดตั้งขึ้นใหม่มักจะพัฒนาขึ้นจนกลายเป็นอำเภออย่างสมบูรณ์ภายในเวลาไม่กี่ปี โดยเมื่อวันที่ 24 สิงหาคม พ.ศ. 2550 กิ่งอำเภอซึ่งมีอยู่ 81 แห่งก็ได้ยกฐานะขึ้นเป็นอำเภอโดยสมบูรณ์ แม้ว่ากิ่งอำเภอหลายแห่งจะยังมีคุณสมบัติไม่ถึงเกณฑ์ของอำเภออย่างสมบูรณ์ในขณะนั้นก็ตาม