ค่าลักษณะเฉพาะถูกกล่าวถึงบ่อยครั้งในบริบทของพีชคณิตเชิงเส้นหรือทฤษฎีเมทริกซ์ ตามประวัติศาสตร์นั้นเกิดขึ้นมาจากการศึกษารูปแบบกำลังสอง(quadratic form)และสมการเชิงอนุพันธ์

ออยเลอร์ได้ศึกษาการหมุนของวัตถุแข็งเกร็ง (rigid body) และได้ค้นพบความสำคัญของเส้นแกนมุขสำคัญ ดังที่ลากรองจ์ (Lagrange) พิสูจน์ไว้ เส้นแกนมุขสำคัญนั้นเป็นเวกเตอร์ลักษณะเฉพาะของเมทริกซ์ความเฉื่อย[1] ในต้นศตวรรษที่ 19 โอกุสแตง ลุยส์ โคชีเห็นว่าวิธีของออยเลอร์และลากรองจ์สามารถใช้แยกประเภทผิวกำลังสอง และยังครอบคลุมไปถึงมิติสัมพัทธ์ (arbitrary dimensions)[2] โคชีสร้างศัพท์ว่า racine caractéristique (รากลักษณะเฉพาะ) สำหรับใช้เรียกสิ่งที่ปัจจุบันเรียกว่า ค่าลักษณะเฉพาะ ศัพท์ของเขานั้นยังมีการใช้อยู่อยู่ในเรื่องสมการลักษณะเฉพาะ (characteristic equation)[3]

กระบวนการทางจำนวนในการคำนวณหาค่าลักษณะเฉพาะและเวกเตอร์ลักษณะเฉพาะเกิดขึ้นในปี ค.ศ. 1929 เมื่อ Von Mises ได้เสนอ power method. และวิธีที่ได้รับความนิยมมากในปัจจุบันคือ QR algorithm ถูกเสนอโดย John G.F. Francis[4][5] และ Vera Kublanovskaya[6] in 1961.[7]